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基于分层Petri网的半导体生产线建模
  • ISSN号：1002-8331
  • 期刊名称：《计算机工程与应用》
  • 时间：0
  • 分类：TP391.9[自动化与计算机技术—计算机应用技术;自动化与计算机技术—计算机科学与技术] TN305[电子电信—物理电子学]
  • 作者机构：[1]同济大学CIMS中心，上海200092
  • 相关基金：国家自然科学基金项目(编号:60374005)资助
作者： 黄丹[1], 乔非[1], 严隽薇[1]
关键词： 分层Petri网, 半导体制造, 建模
中文摘要：

论文提出了一种分层Petri网模型用于半导体生产线建模。首先，总结了Petri网在半导体生产线建模中的应用，继而给出了分层Petri网的定义及其建模过程。最后以一个典型的半导体生产线为例，进行该方法的应用研究。

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期刊信息
  • 《计算机工程与应用》
  • 北大核心期刊（2014版）
  • 主管单位:中国电子科技集团公司
  • 主办单位:华北计算技术研究所
  • 主编：怀进鹏
  • 地址：北京市海淀区北四环中路211号北京619信箱26分箱
  • 邮编：100083
  • 邮箱：ceaj@vip.163.com
  • 电话：
  • 国际标准刊号：ISSN：1002-8331
  • 国内统一刊号：ISSN：11-2127/TP
  • 邮发代号:82-605
  • 获奖情况:
  • 1. 2012年首批获得中国学术文献评价中心发布的 “...,2. 2001年获得新闻出版署“中国期刊方阵双效期刊”,3. 2008年首批入选国家科技部“中国精品科技期刊...,4.2003年-2011年连续获得工业和信息化部期刊最高...
  • 国内外数据库收录:
  • 俄罗斯文摘杂志,波兰哥白尼索引,美国剑桥科学文摘,英国科学文摘数据库,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊（2004版）,中国北大核心期刊（2008版）,中国北大核心期刊（2014版）,中国北大核心期刊（2000版）
  • 被引量:97887