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Study on characteristics of dual-frequency capacitively coupled SF6/O2 plasma and plasma texturing o
  • ISSN号：1674-1056
  • 期刊名称：Chinese Physics B
  • 时间：2014.4.10
  • 页码：065201-1-065201-9
  • 相关项目：氟、氯基射频等离子体在多晶硅电池片表面制绒的应用研究
作者： 邹帅|辛煜|苏晓东|王栩生|
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氟、氯基射频等离子体在多晶硅电池片表面制绒的应用研究
期刊论文 15
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期刊信息
  • 《中国物理B：英文版》
  • 中国科技核心期刊
  • 主管单位:中国科学院
  • 主办单位:中国物理学会和中国科学院物理研究所
  • 主编：欧阳钟灿
  • 地址：北京 中关村 中国科学院物理研究所内
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  • 国际标准刊号：ISSN：1674-1056
  • 国内统一刊号：ISSN：11-5639/O4
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  • 国内外数据库收录:
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