位置：成果数据库 > 期刊 > 期刊详情页
基于静电排斥力的大冲程MEMS变形镜
  • ISSN号：1671-4776
  • 期刊名称：微纳电子技术
  • 时间：0
  • 页码：242-247
  • 相关项目：自适应光学系统中MEMS变形镜的空间和时间特性研究
作者： 陈科帆|姚军|高福华|汪为民|倪祖高|Chen Kefan1,Yao Jun1,Gao Fuhua2,Wang Weimin1,Ni Zu|2.Department of Physics,Sichuan University,Chengdu|
同期刊论文项目
自适应光学系统中MEMS变形镜的空间和时间特性研究
期刊论文 11 会议论文 2 专利 3 著作 1
同项目期刊论文
An out-of-plane electrostatic actuator based on the lever principle
新型分立倾斜式微变形镜研究
微加工静电排斥驱动器特性分析
A MEMS micromirror driven by electrostatic force
An electrostatic MEMS spring actuator with large stroke and out-of-plane actuation
非正交二维MEMS倾斜镜的研制
新型静电驱动双向平动MEMS变形镜(英文)
基于旋转相位调制的复杂光场相位恢复算法
光纤传感技术在油田开发中的应用进展
光纤传感技术在管道泄漏检测中的应用与进展
期刊信息
  • 《微纳电子技术》
  • 中国科技核心期刊
  • 主管单位:中国电子科技集团公司
  • 主办单位:中国电子科技集团公司第十三研究所
  • 主编：李和委
  • 地址：石家庄市179信箱46分箱
  • 邮编：050002
  • 邮箱：wndz@vip.sina.com
  • 电话：0311-87091487
  • 国际标准刊号：ISSN：1671-4776
  • 国内统一刊号：ISSN：13-1314/TN
  • 邮发代号:18-60
  • 获奖情况:
  • 2002-2003和2003-2004年度，均获信息产业部电子科...,2005-2006年度获信息产业部电子科技期刊学术技术...,中国学术期刊执行（光盘版）检索与评价数据规范优...,2007-2008年度又荣获工业和信息化部电子科技期刊...
  • 国内外数据库收录:
  • 俄罗斯文摘杂志,美国剑桥科学文摘,英国科学文摘数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊（2008版）,中国北大核心期刊（2011版）,中国北大核心期刊（2014版）
  • 被引量:3327