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MEMS压力传感器原理及其应用
  • ISSN号：1674-5795
  • 期刊名称：《计测技术》
  • 时间：0
  • 分类：TB9[机械工程—测试计量技术及仪器;一般工业技术—计量学]
  • 作者机构：北京航空航天大学精密光机电一体化教育部重点实验室, 北京航空航天大学惯性技术国防科技重点实验室
  • 相关基金：国家自然科学基金资助项目(60927005)
作者： 曹乐, 樊尚春, 邢维巍
关键词： MEMS, 压力传感器, 键技术, 工作原理, 应用研究
中文摘要：

MEMS压力传感器是基于MEMS技术的小型化、低功耗、低成本、高准确度的压力测量器件,广泛应用于各行业领域。本文首先介绍了压阻式、电容式和谐振式压力传感器的工作原理,然后研究了三种压力传感器的关键技术,并针对应用做了简要分析,最后给出了MEMS压力传感器研究方面的几点建议。

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期刊信息
  • 《计测技术》
  • 主管单位:中国航空工业集团公司
  • 主办单位:中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所
  • 主编：陈霞
  • 地址：北京市海滨区环山村304所
  • 邮编：100095
  • 邮箱：mmt304@126.com
  • 电话：010-62457159 62457160
  • 国际标准刊号：ISSN：1674-5795
  • 国内统一刊号：ISSN：11-5347/TB
  • 邮发代号:80-441
  • 获奖情况:
  • 2004年获中国航空工业集团公司科技期刊二等奖
  • 国内外数据库收录:
  • 被引量:2078