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Effect of step biasing on diamond-like carbon films deposited by pulsed unbalanced magnetron sputter
  • ISSN号:1862-6300
  • 期刊名称:Physica Status Solidi A-Applications and Materials
  • 时间:2013.9.1
  • 页码:1874-1880
  • 相关项目:巨介电CCTO体系电子结构和缺陷特征及其对介电/压敏特性的影响
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