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Robust control of micro-positioning stage with piezoceramic actuator
期刊名称:Int. J. Advanced Mechatronic Systems
时间:2012.12.1
页码:221-229
相关项目:多维超精密运动定位平台的建模与多变量控制研究
作者:
Y.Tan|Y.Xie|R.Dong|H. He|
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