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一种集成真空工具的复合静电驱动微夹持器
  • 期刊名称：Sensors and Actuators A: Physical
  • 时间：0
  • 页码：320-327
  • 语言：英文
  • 相关项目：基于动态粘着控制的微尺度对象操作机理及方法的研究
作者： Lining Sun|Xinxin Li|Liguo Chen|Weibin Rong|Tao Chen|
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