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高质量LiGaO2晶体的提拉法生长及表征
  • ISSN号:1000-985X
  • 期刊名称:《人工晶体学报》
  • 时间:0
  • 分类:O78[理学—晶体学]
  • 作者机构:[1]中国科学院上海光学精密机械研究所,上海201800, [2]中国科学院研究生院,北京100039
  • 相关基金:国家自然科学基金(No.60676004)和上海市浦江计划(05PJ14100)资助
中文摘要:

采用提拉法成功地生长了高质量的LiGaO2单晶体,生长过程中没有观察到挥发现象。通过四晶X射线衍射、化学腐蚀、光学显微、透过光谱以及原子力显微镜对晶体的质量进行了表征。结果表明:晶体中无包裹物及气泡,具有很高的质量,(001)面晶片的摇摆曲线半高宽仅为16.2arcsec,正交的(001)、(100)及(010)三个晶面具有不同的腐蚀形貌,其位错密度均低于10^4/cm^2;LiGaO2晶体的吸收边约为220nm;化学机械抛光后的晶片表面非常光滑,其均方根粗糙度仅为0.1nm(5×5μm^2)。

英文摘要:

High-quality LiGaO2 crystal was grown by modified Czochralski method,and there was no volatilization during the crystal growth.The crystal was characterized by four-crystal X-ray diffraction,chemical etching,optical microscope,transmission spectra and atomic force microscope(AFM).The results showed that the as-grown crystal has very high quality and there are no inclusions and bubbles in the crystal.The FWHM of LiGaO2(001)slice is only 16.2 arcsec.The dislocation densities on(001),(100)and(010)planes are all less than 10^4 /cm^2.The Absorption edge of LiGaO2 crystal is about 220 nm.The chemico-mechanically polished LiGaO2 slice shows very smooth surface,and the root-mean-square roughness is only 0.1 nm across the 5×5 μm^2 area.

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期刊信息
  • 《人工晶体学报》
  • 中国科技核心期刊
  • 主管单位:中国建材工业协会
  • 主办单位:中国硅酸盐学会 晶体生长与材料专业委员会 中材人工晶体研究院
  • 主编:余明清
  • 地址:北京市733信箱
  • 邮编:100018
  • 邮箱:
  • 电话:010-65492963 65492968 65493320
  • 国际标准刊号:ISSN:1000-985X
  • 国内统一刊号:ISSN:11-2637/O7
  • 邮发代号:
  • 获奖情况:
  • 1997年获国家科技优秀期刊,获部级优秀科技期刊奖,中国期刊方阵“双效”期刊
  • 国内外数据库收录:
  • 美国化学文摘(网络版),荷兰文摘与引文数据库,美国工程索引,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊(2004版),中国北大核心期刊(2008版),中国北大核心期刊(2011版),中国北大核心期刊(2014版),中国北大核心期刊(2000版)
  • 被引量:9943