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Effects of the shielding cylinder and substrate on the characteristics of an argon radio-frequency a
  • ISSN号：0021-8979
  • 期刊名称：Journal of Applied Physics
  • 时间：0
  • 页码：-
  • 相关项目：大气压射频辉光放电等离子体中电磁流体力学多场耦合效应的研究
作者： Li, Guo|Le, Pei-Si|Li, He-Ping|Bao, Cheng-Yu|
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