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The Nanoindentation-Induced Cracking of Thin Silicon Chips
  • ISSN号：1941-4900
  • 期刊名称：Nanoscience and Nanotechnology Letters
  • 时间：0
  • 页码：327-331
  • 相关项目：不互溶纳米多层膜中“Ｚ”字型高温稳定微结构的形成机理
作者： Haibo Wan|Yao Shen|Wei Zeng|Qiulong Chen|
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