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高灵敏Love波传感器及其关键材料
  • 期刊名称:功能材料,38(12):1933-1935,1940, 2007.12
  • 时间:0
  • 分类:TP212.1[自动化与计算机技术—控制科学与工程;自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
  • 作者机构:[1]电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室,四川成都610054
  • 相关基金:国家杰出青年基金资助项目(60425101)
  • 相关项目:传感技术及其系统
中文摘要:

Love波传感器是声表面波传感器的一种,其灵敏度最高。对Love波生物、化学传感器的研究现状进行了综述,着重分析了波导材料及其厚度、基板材料及其切向对传感器的灵敏度及温度稳定性的影响关系。指出采用高频谐振型的器件结构并结合聚合物波导的方案可进一步提高Love波传感器的灵敏度。

英文摘要:

Love wave sensor has the highest sensitivity among surface acoustic wave sensors. The development of Love wave biosensors and chemical sensors are reviewed in this paper. The effects of the guided layer materials and their thickness as well as the piezoelectric substrates and their cuttings on the sensor sensitivity and temperature stability are discussed. We point out that the high frequency resonator type sensor with a polymer guide layer can further increase the sensitivity of Love wave sensors.

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