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基于SOI的高Q微环谐振腔的研究
  • ISSN号:1001-5868
  • 期刊名称:《半导体光电》
  • 时间:0
  • 分类:TN252[电子电信—物理电子学]
  • 作者机构:[1]北京交通大学理学院光信息科学与技术研究所、发光与光信息技术教育部重点实验室,北京100044, [2]中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室,北京100083
  • 相关基金:国家自然科学基金项目(61571035).
中文摘要:

利用时域有限差分法,对基于绝缘体上硅(SOI)的微环谐振腔的微环波导宽度对传输性能、Q值的影响进行了理论分析与仿真。研究结果表明,单模条件下,波导越宽,Q值越大。仿真优化结果表明微环半径为10μm、微环波导宽度为600nm时,1.55gm附近的谐振峰的消光比为18.2dB,计算出Q值约为2.2×10^5.进一步研究了微环与直波导间距、平板高度对Q值的影响。耦合间距增大时,由于耦合效率降低,Q值则逐渐提高;随着平板区厚度的减小,辐射损耗会越小,因此Q值增大。研究结果为微环谐振腔的进一步优化和设计提供了参考。

英文摘要:

The microring resonator based on the the algorithm of the Finite Difference Time Domain rnicroring width of the transmission performance and It shows that the wider the waveguide, the higher Silicon on Insulator (SOD is discussed with method (FDTD). The dependence on the quality factor is analyzed with simulations. the quality factor within the single mode regime, it will be a multi-mode waveguide when the waveguide is too wide. When the radius of the microring is 10 μm and the microring width is 600 nm, the extinction ratio around the wavelength of 1.55μm is about 18.2 dB, and the quality factor Q can reach as high as 2.2× 10^5. The larger the gap between the ring and the bus waveguide, the weaker the coupling, thus the higher the quality factor. The quality factor Q will increase sharply with the decreasing pedestal thickness decreases, and the radiation loss decreases too. The works provide some valueable results for further design and optimization of the SOI microring resonator.

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期刊信息
  • 《半导体光电》
  • 中国科技核心期刊
  • 主管单位:信息产业部
  • 主办单位:中国电子科技集团公司第四十四研究所(重庆光电技术研究所)
  • 主编:江永清
  • 地址:重庆市南岸区南坪花园路14号
  • 邮编:400060
  • 邮箱:soe@163.net
  • 电话:023-65860286
  • 国际标准刊号:ISSN:1001-5868
  • 国内统一刊号:ISSN:50-1092/TN
  • 邮发代号:
  • 获奖情况:
  • 重庆市首届十佳期刊称号,1999年,信息产业部1999-2000年度优秀电子期刊称号
  • 国内外数据库收录:
  • 美国化学文摘(网络版),荷兰文摘与引文数据库,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊(2004版),中国北大核心期刊(2008版),中国北大核心期刊(2011版),中国北大核心期刊(2014版),中国北大核心期刊(2000版)
  • 被引量:5924