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Phase evolution of tantalum nitride and tantalum carbide films with PBII parameters
  • ISSN号：0022-2461
  • 期刊名称：Rare Metal
  • 时间：0
  • 页码：142-145
  • 语言：英文
  • 相关项目：陶瓷球表面润滑改性及自润滑机理研究
作者： 唐光泽|李忠文|古乐|
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