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Fabrication and tests of a three-dimensional microsupercapacitor using SU-8 photoresist as the separ
  • ISSN号:1750-0443
  • 期刊名称:Micro & Nano Letters
  • 时间:2012
  • 页码:1166-1169
  • 相关项目:基于MEMS的硅基微型燃料电池关键工艺与材料的基础研究
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