液压系统在船上具有广泛应用,当液压油污染物中出现粒径大于20 μ m 的颗粒时,说明该系统发生了异常磨损,可能导致故障的发生.利用光阻法,设计并制作了微流控油液颗粒检测芯片,搭建了简单有效的光学检测系统,并经信号放大和数据采集实现了对微小颗粒的检测,最后通过Java 编程实现了对粒径大于20 &m颗粒进行计数.对25 - 38 &m的铁颗粒进行快速检测的结果表明,系统的检测性能良好,证明方法是可行的.