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电子束制作高分辨率波带片图形数
  • 期刊名称：微细加工技术·2005（2）·28-33，2005年（EI收录）
  • 时间：0
  • 相关项目：半导体纳米材料的可控、有序生长
作者： 王德强*，康晓辉，谢常青，叶甜
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