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Structure and characteristics of amorphous (Ti,Si)-C:H films deposited by reactive magnetron sputter
  • ISSN号:0925-9635
  • 期刊名称:Diamond and Related Materials
  • 时间:0
  • 页码:1172-1177
  • 相关项目:复合结构碳基薄膜的制备及其摩擦学特性研究
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