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Extracting Electromechanical Coupling Constant of Piezoelectric Thin Film by High-tone Bulk Acoustic
ISSN号:0885-3010
期刊名称:IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics,
时间:2012.5.5
页码:958-962
相关项目:高性能MEMS体波谐振器理论与实验研究
作者:
Chong Zhou|Wei Pang|Qiang Li|Hongyu Yu|Xiaotang Hu|Hao Zhang|
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