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Extracting Electromechanical Coupling Constant of Piezoelectric Thin Film by High-tone Bulk Acoustic
  • ISSN号:0885-3010
  • 期刊名称:IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics,
  • 时间:2012.5.5
  • 页码:958-962
  • 相关项目:高性能MEMS体波谐振器理论与实验研究
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