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Semiconductor manufacturing process monitoring using Gaussian mixture model and Bayesian method with
  • ISSN号:0894-6507
  • 期刊名称:IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing
  • 时间:2012.8.8
  • 页码:480-493
  • 相关项目:基于统计学习方法的复杂多变量制造过程质量的建模与控制研究
作者: Jianbo Yu|
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