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平板型感应耦合等离子体源的线圈
  • 期刊名称：物理学报 55（2006）5311-5315
  • 时间：0
  • 相关项目：多线圈大面积感应耦合等离子体的耦合特性和均匀性研究
作者： 狄小莲 辛煜 宁兆元
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期刊论文 26
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