氮气流量对多晶硅定向凝固炉热场的影响
- ISSN号:0253-231X
- 期刊名称:工程热物理学报
- 时间:2012
- 页码:143-145
- 相关项目:多晶硅铸锭定向凝固过程中的氧碳杂质耦合输运机理及控制
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