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基于DSP的薄膜疵点在线检测系统的设计与实现
  • ISSN号：1004-1699
  • 期刊名称：传感技术学报
  • 时间：0
  • 页码：293-296
  • 语言：中文
  • 分类：TP391[自动化与计算机技术—计算机应用技术;自动化与计算机技术—计算机科学与技术]
  • 作者机构：[1]东华大学信息科学与技术学院,上海201620, [2]数字化纺织服装技术教育部工程研究中心,上海201620
  • 相关基金：国家自然科学基金重点项目资助（60534020）;国家自然科学基金资助（60775052）;教育部科技创新工程重大项目培育资金项目资助（706024）;上海市国际科技合作基金项目资助（061307041）;上海市人才发展资金资助（001）;上海市领军人才后备人选专项资金资助
  • 相关项目：大载荷下微位移与低频微振动智能化主动控制研究
作者： 郝矿荣|任立红|杨影|丁永生|
关键词： 薄膜, 疵点检测, 线阵CCD, DSP, pellicle defects inspection, linear CCD, DSP
中文摘要：

提出了一种基于DSP的薄膜疵点在线检测方法，该方法用多个线阵CCD摄像机同步采集薄膜表面的图像，通过DSP系统对图像进行处理，以得到薄膜表面质量情况。对其中的高速CCD信号数字转换电路、外同步触发信号的产生、CCD控制以及与DSP间的数据通讯接口、DSP处理的软件设计等内容进行了讨论。该系统速度快，精度高，实时性好，可有效地检测到薄膜表面的各种缺陷。

英文摘要：

A method for online defect inspection of the pellicle is put forward. A few linear CCDs are used to capture images of the pellicle surface simultaneously. These captured images are then processed with DSP technique in order to clearly obtain the quality conditions of the pellicle. We discuss the transition circuit for CCD high speed digital signal, the produce for the Exsync signal, CCD control and communication interface with DSP, and software design based on DSP. The system can accurately, timely and effectively check out various defects over the pellicle surface.

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期刊信息
  • 《传感技术学报》
  • 北大核心期刊（2011版）
  • 主管单位:国家教育部
  • 主办单位:东南大学 中国微米纳米技术学会
  • 主编：黄庆安
  • 地址：南京市四牌楼2号
  • 邮编：210096
  • 邮箱：dzcg-bjb@163.com
  • 电话：025-83794925
  • 国际标准刊号：ISSN：1004-1699
  • 国内统一刊号：ISSN：32-1322/TN
  • 邮发代号:28-366
  • 获奖情况:
  • 2011-2012年获中国科技论文在线优秀期刊一等奖,2012年获第四届中国高校优秀科技期刊奖,2011年获中国精品科技期刊
  • 国内外数据库收录:
  • 美国化学文摘（网络版）,荷兰文摘与引文数据库,英国科学文摘数据库,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊（2004版）,中国北大核心期刊（2008版）,中国北大核心期刊（2011版）,中国北大核心期刊（2014版）
  • 被引量:18030