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Nanopatterning of optical surfaces during low-energy ion beam sputtering
  • ISSN号:0091-3286
  • 期刊名称:Optical Engineering of SPIE
  • 时间:2014.6.27
  • 页码:065108-
  • 相关项目:大口径离轴非球面磁流变和离子束复合短流程加工关键工艺与技术研究
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