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Nanopatterning of optical surfaces during low-energy ion beam sputtering
ISSN号:0091-3286
期刊名称:Optical Engineering of SPIE
时间:2014.6.27
页码:065108-
相关项目:大口径离轴非球面磁流变和离子束复合短流程加工关键工艺与技术研究
作者:
Wenlin Liao Yifan Dai Xuhui Xie|
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