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铁电—硅集成微麦克风和扬声器的理论设计
  • ISSN号：1004-2474
  • 期刊名称：《压电与声光》
  • 时间：0
  • 分类：TN643.02[电子电信—电路与系统]
  • 作者机构：清华大学微电子所,北京100084
  • 相关基金：国家自然科学基金资助项目!（69806007）
作者： 任天令, 张林涛
关键词： 微麦克风, 微扬声器, 铁电薄膜, 硅, 设计
中文摘要：

在现有Ｐｂ（Ｚｒ，Ｔｉ）Ｏ３（ＰＺＴ）铁电薄膜的制备工艺基础上，提出并设计了可集成在同一芯片上的基于ＰＺＴ铁电薄膜的压电型微麦克风、扬声器结构，对其灵敏度和声输出进行了理论计算，比较了基于ＰＺＴ和ＺｎＯ两种材料的微麦克风和扬声器的性能差异。

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期刊论文 2
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期刊信息
  • 《压电与声光》
  • 中国科技核心期刊
  • 主管单位:中国电子科技集团公司
  • 主办单位:中国电科第二十六研究所
  • 主编：胡少勤
  • 地址：重庆南坪花园路14号26所
  • 邮编：400060
  • 邮箱：ydsgsipat@163.com
  • 电话：023-62919570
  • 国际标准刊号：ISSN：1004-2474
  • 国内统一刊号：ISSN：50-1091/TN
  • 邮发代号:
  • 获奖情况:
  • 1984年获电子部优秀科技期刊三等奖,1990年获电子行业优秀科技期刊三等奖,1990年获首届机电部优秀科技期刊二等奖,1990年获首届四川省优秀科技期刊二等奖,1991年获首届国防科技工委优秀科技期刊二等奖,1992年获第二届机电部优秀科技期刊三等奖,1992年获第二届四川省优秀科技期刊二等奖,1993年获第一届全国优秀科技期刊三等奖,1995年获首届四川省宣传部、省新闻出版局、省期刊...,1995年获四川省第三届优秀科技期刊二等奖,1995-1996年获信息产业部电子优秀科
  • 国内外数据库收录:
  • 俄罗斯文摘杂志,美国化学文摘（网络版）,波兰哥白尼索引,荷兰文摘与引文数据库,美国剑桥科学文摘,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊（2004版）,中国北大核心期刊（2008版）,中国北大核心期刊（2011版）,中国北大核心期刊（2014版）,中国北大核心期刊（2000版）
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