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Dynamic characteristic analysis of precise long stroke linear motor with air-bearing in optical lith
  • ISSN号:1000-9345
  • 期刊名称:机械工程学报(英文版)
  • 时间:0
  • 页码:17-22
  • 语言:中文
  • 相关项目:两栖仿生龟机器人多介质环境下运动机理与仿生机构综合的研究
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