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Non-linear dynamics of an electrothermally excited resonant pressure sensor
  • 期刊名称：Sensors and actuators-A
  • 时间：0
  • 页码：19-28
  • 相关项目：谐振式硅微结构传感器综合测试分析仪器
作者： Li Qingfeng|Fan Shangchun|Tang Zhangyang|
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谐振式硅微结构传感器综合测试分析仪器
期刊论文 31 会议论文 5 专利 9
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