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Measurement of Step Height Using White Light Spectral Interferometry
  • ISSN号：1013-9826
  • 期刊名称：Key Engineering Materials
  • 时间：2015
  • 页码：326-331
  • 相关项目：基于白光扫描干涉术的超精密表面几何参数大范围快速测量方法
作者： Ma Long|Chen Jinping|Fu Xing|Hu Xiaotang|
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