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Enhancing the hardness of arc-ion plated nanocrystallite TiN films
  • ISSN号:0957-4484
  • 期刊名称:Nanotechnology
  • 时间:0
  • 页码:1185-1192
  • 语言:英文
  • 相关项目:Si-C-N超硬薄膜韧化途径与机制探索
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