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激光键合的有限元仿真及工艺参数
  • 期刊名称：半导体学报，2007，28(6)：995-1000
  • 时间：0
  • 相关项目：MEMS封装失效的诊断与预测方法研究
作者： 马子文，汤自荣，廖广兰*，史铁
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期刊论文 35 会议论文 9
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