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ESD与EMP对微波晶体管损伤机理研究
  • ISSN号:1003-353X
  • 期刊名称:《半导体技术》
  • 时间:0
  • 分类:TN306[电子电信—物理电子学]
  • 作者机构:[1]中国电子科技集团公司第十三研究所,石家庄050051, [2]中国人民解放军军械工程学院,石家庄050003
  • 相关基金:国家自然科学基金支持项目(50237040)
中文摘要:

主要论述了电子装备中易受静电放电(ESD)和电磁脉冲(EMP)损伤的微波半导体器件的失效模式和失效机理。实验与理论分析结果表明,电流放大系数hFE是ESD、EMP损伤的敏感参数;在ESD、EMP的作用下,器件进入雪崩击穿状态(反偏注入),从而诱发热电子注入效应,使hFE逐渐退化;BC结反偏时的失效能量低于EB结反偏时的失效能量,BC结是EMP损伤的较易损端口;改进器件的结构设计、提高器件抗ESD、EMP能量,可有效提高电子装备抗电磁脉冲的可靠性水平。

英文摘要:

Damages caused by ESD or EMP on microwave semiconductor devices were discussed, and their main failure model and mechanisms were analyzed. The experimental and analysis results show that current amplification factor hFE is a more sensitive parameter of ESD or EMP; effeeted by ESD or EMP, the device will break into avalanche breakdown, which sequentially incite the injection effect of hot electron and finally result in degeneration of hFE; it is proved that BC junction is easier to be damaged than EB junction by ESD or EMP in experiments, because the failure energy of BC junction is less than that of EB while in state of reverse-bias; the ability of anti-EMP can be improved through reforming the design of electronic device which may increase the failune energy of ESD and EMP.

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期刊信息
  • 《半导体技术》
  • 中国科技核心期刊
  • 主管单位:中国电子科技集团公司
  • 主办单位:中国电子科技集团公司第十三研究所
  • 主编:赵小玲
  • 地址:石家庄179信箱46分箱
  • 邮编:050051
  • 邮箱:informax@heinfo.net
  • 电话:0311-87091339
  • 国际标准刊号:ISSN:1003-353X
  • 国内统一刊号:ISSN:13-1109/TN
  • 邮发代号:18-65
  • 获奖情况:
  • 中文核心期刊,中国科技论文统计用刊
  • 国内外数据库收录:
  • 俄罗斯文摘杂志,美国化学文摘(网络版),美国剑桥科学文摘,英国科学文摘数据库,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊(2004版),中国北大核心期刊(2008版),中国北大核心期刊(2011版),中国北大核心期刊(2014版),中国北大核心期刊(2000版)
  • 被引量:6070