位置：成果数据库 > 期刊 > 期刊详情页
Application of Supercritical Fluid in Nanolithographic Processes
  • ISSN号：1872-2105
  • 期刊名称：Recent Patents on Nanotechnology
  • 时间：0
  • 页码：78-84
  • 语言：英文
  • 相关项目：纳米列阵上各流动流态的稳定性分析
作者： Zhou, Jijie|
同期刊论文项目
纳米列阵上各流动流态的稳定性分析
期刊论文 4
同项目期刊论文
耗散粒子动力学中实现滑移边界条件的数值方法
Parametric verification of one-way lithographic wicks