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Instability analysis of torsional MEMS/NEMS actuators under capillary force
  • ISSN号：0021-9797
  • 期刊名称：Journal of Colloid and Interface Science
  • 时间：0
  • 页码：458-462
  • 语言：英文
  • 相关项目：低维纳米结构弹性性能的尺寸效应研究
作者： Zhao, Ya-Pu|Guo, Jian-Gang|Zhou, Li-Jun|
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