往复式线切割对单晶硅表面粗糙度的影响
- ISSN号:1673-2812
- 期刊名称:材料科学与工程学报
- 时间:2015
- 页码:692-696
- 相关项目:直接冷却结构对晶体单色器摇摆曲线展宽的影响及其数值模拟研究
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期刊信息
- 《材料科学与工程学报》
- 北大核心期刊(2011版)
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