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压电型精密位移驱动器的研究进展
  • 期刊名称:压电与声光
  • 时间:0
  • 页码:26(3).192~195,2004
  • 语言:中文
  • 相关项目:超声波悬浮作用机理及其动压轴承开发研究
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