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基于相位偏折术的非球面镜检测方法
  • ISSN号:0258-7025
  • 期刊名称:中国激光
  • 时间:0
  • 页码:1338-1341
  • 分类:O436[机械工程—光学工程;理学—光学;理学—物理] TN247[电子电信—物理电子学]
  • 作者机构:[1]四川大学光电科学技术系,四川成都610064
  • 相关基金:国家自然科学基金(60838002); 中国科学院光电技术研究所基金资助课题
  • 相关项目:基于结构照明的大尺寸非球面镜检测方法研究
中文摘要:

提出一种基于相位偏折术(PMD)的非球面镜检测方法。在条纹屏上显示标准正弦环形条纹,经过被测镜反射后为相机所接收。通过对两次不同位置的条纹平面进行测量,利用相移技术及相位展开技术得到两次位置处的相位分布,从而得到像素点对应的原始光线和偏折光线的位置和方向,确定光线的偏折位置和角度,计算出被测面形的梯度分布,通过数值积分重建被测面形。该方法具有结构简单、成本低、易于实行和动态测量范围较大的特点,可用于加工过程中波前变化范围较大的非球面反射镜精磨和初抛光阶段的检验。数字模拟和实验验证了这一技术的可行性。

英文摘要:

A method based on basic phase measuring deflectometry(PMD) is proposed for testing the aspherical mirror,which uses two reference screens in different distances from the tested mirror.The intensity-modulated patterns are generated on the screens and the images reflected via the tested mirror are recorded by a camera.The original ray of every pixel and its corresponding deflected ray can be constructed using the recorded patterns and phase-shifting technique.Their intersection points and the surface normal are obtained.Then the mirror surface is reconstructed by numerical integration.The procedure for this method is presented,and the computer simulation and experimental results are shown.

同期刊论文项目
期刊论文 69 会议论文 8 专利 11 著作 1
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期刊信息
  • 《中国激光》
  • 北大核心期刊(2011版)
  • 主管单位:中国科学院
  • 主办单位:中国光学学会 中国科学院上海光学精密机械研究所
  • 主编:周炳琨
  • 地址:上海市嘉定区清河路390号
  • 邮编:201800
  • 邮箱:cjl@siom.ac.cn
  • 电话:021-69917051
  • 国际标准刊号:ISSN:0258-7025
  • 国内统一刊号:ISSN:31-1339/TN
  • 邮发代号:4-201
  • 获奖情况:
  • 中国自然科学核心期刊,物理学类核心期刊,无线电子学·电信技术类核心期刊
  • 国内外数据库收录:
  • 俄罗斯文摘杂志,美国化学文摘(网络版),荷兰文摘与引文数据库,美国工程索引,美国剑桥科学文摘,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊(2004版),中国北大核心期刊(2008版),中国北大核心期刊(2011版),中国北大核心期刊(2014版),英国英国皇家化学学会文摘,中国北大核心期刊(2000版)
  • 被引量:26849