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Optical sensitivity analysis of a bended micro reflector array in uncooled infrared imaging
  • 期刊名称:J. Micromech. Microeng
  • 时间:0
  • 页码:095018-095026
  • 语言:中文
  • 相关项目:微梁传感技术在生化领域应用的基础研究
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