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Influence of TaCl5 partial pressure on texture structure of TaC coating deposited by chemical vapor
  • ISSN号:0169-4332
  • 期刊名称:Applied Surface Science
  • 时间:2011.2.2
  • 页码:4044-4050
  • 相关项目:特种粉末冶金材料应用基础研究
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