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一种新型三维敏感效应电容式SO_2气体传感器设计
  • 期刊名称：传感器与微系统
  • 时间：0
  • 页码：68-70
  • 语言：中文
  • 相关项目：三维敏感效应MEMS气体传感器
作者： 赵良|杨英|张清锦|陈向东|
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三维敏感效应MEMS气体传感器
期刊论文 43 会议论文 1 获奖 1 专利 4
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