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VAD等离子体中宏观粒子的悬浮电位
  • 期刊名称：微细加工技术
  • 时间：0
  • 页码：1997年第2期
  • 语言：中文
  • 相关项目：真空电弧沉积非晶硅的理论与实验研究
作者： 何俊生，邹积岩，程礼椿|
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