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Simulations of reactive sputtering with constant voltage power supply
  • ISSN号：0021-8979
  • 期刊名称：JOURNAL OF APPLIED PHYSICS
  • 时间：0
  • 作者或编辑：3448
  • 页码：84 (11): 6399-6408 DEC 1 1998
  • 语言：英文
  • 相关项目：耐高温的太阳能选择性吸收膜的研究
作者： Zhu SL|Wang FH|Wu WT|
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