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A comparative research on magnetron sputtering and arc evaporation deposition of Ti-Al-N coatings
  • ISSN号:0040-6090
  • 期刊名称:Thin Solid Films
  • 时间:2011.3.3
  • 页码:3762-3767
  • 相关项目:Ti-Al-Zr-N涂层的原子尺度模拟及其热稳定性和时效硬化效应
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