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A comparative research on magnetron sputtering and arc evaporation deposition of Ti-Al-N coatings
ISSN号:0040-6090
期刊名称:Thin Solid Films
时间:2011.3.3
页码:3762-3767
相关项目:Ti-Al-Zr-N涂层的原子尺度模拟及其热稳定性和时效硬化效应
作者:
Li Chen|Ke K. Chang|Yong Du|Jing R. Li|Ming J. Wu|
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专利 1
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