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中文摘要：
提出了采用低能氦离子注入多量子阱（MQW）材料和合适的快速退火条件，实现了MQW带隙波长的蓝移．用这种材料制作了FP腔激光器，与未注入器件相比，实现了37nm的激射波长蓝移．
英文摘要：
Low energy helium ion implantation into InP heterostructures that induces controlled quantum well intermixing is reported and used for the first time. A significant blue-shift enhanced by a moderate RTA process is achieved. An intermixed FP laser is fabricated. Compared to the unimplanted laser,the lasing wavelength of the intermixed laser blue-shifts by 37nm.
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