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动态测量系统均匀设计理论研究
  • ISSN号:1004-132X
  • 期刊名称:中国机械工程
  • 时间:0
  • 页码:892-896
  • 语言:中文
  • 分类:TH741[机械工程—光学工程;机械工程—仪器科学与技术;机械工程—精密仪器及机械]
  • 作者机构:[1]合肥工业大学仪器科学与光电工程,安徽合肥230009
  • 相关基金:国家自然基金项目(编号:50675057)
  • 相关项目:基于误差分解溯源理论的动态测量系统最优设计原理及应用研究
中文摘要:

文章提出了一种基于DVD原理的非接触光学聚焦探头,它由商用DVD读取头改装而成,已经完成设计与制作。实验结果表明,此非接触探头分辨率优于lnm,测量重复性可达12nm。目前此非接触触发探头已应用于纳米三坐标测量机上。

英文摘要:

This paper presents a non-contact trigger probe based on the commercial DVD pick-up head. The focus sensor and the mechanism have been designed and manufactured. Experimental results show that the non-contact trigger probe can obtains 1 nm resolution and a repeatability of 12nm. The non-contact trigger probe can be used on a micro/nano CMM.

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期刊信息
  • 《中国机械工程》
  • 中国科技核心期刊
  • 主管单位:中国科学技术协会
  • 主办单位:中国机械工程学会
  • 主编:董仕节
  • 地址:湖北工业大学772信箱
  • 邮编:430068
  • 邮箱:paper@cmemo.org.cn
  • 电话:027-87646802
  • 国际标准刊号:ISSN:1004-132X
  • 国内统一刊号:ISSN:42-1294/TH
  • 邮发代号:38-10
  • 获奖情况:
  • 1997年获中国科协期刊一等奖,第二届全国优秀科技...,机械行业优秀期刊一等奖,1999年获首届国家期刊奖,2001年获首届湖北十大名刊,中国期刊方阵“双高”期刊,2003第二届国家期刊奖提名奖,百种中国杰出学术期刊
  • 国内外数据库收录:
  • 俄罗斯文摘杂志,美国化学文摘(网络版),荷兰文摘与引文数据库,美国剑桥科学文摘,英国科学文摘数据库,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊(2004版),中国北大核心期刊(2008版),中国北大核心期刊(2011版),中国北大核心期刊(2014版),中国北大核心期刊(2000版)
  • 被引量:50788