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A density functional theory study on the reactions of chlorine loss in ZrO2 thin films by atomic-lay
  • ISSN号：2210-271X
  • 期刊名称：Computational and Theoretical Chemistry
  • 时间：0
  • 页码：38-43
  • 相关项目：高介电常数栅介质薄膜可控生长机理、微观结构与电学性质的理论研究
作者： Cui, Chengxing|Ren, Jie|
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