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化学机械系统的微小化与节能.
  • 期刊名称：化工进展，2007，26(2)：253-261
  • 时间：0
  • 相关项目：尺度效应对微机械系统高温封装可靠性的影响
作者： 涂善东，周帼彦，于新海.
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