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光子束超衍射纳米加工技术及应用基础研究
  • ISSN号：0379-4148
  • 期刊名称：《物理》
  • 时间：0
  • 分类：TB383[一般工业技术—材料科学与工程]
  • 作者机构：[1]中国科学院理化技术研究所
  • 相关基金：国家重点基础研究发展计划（975计划）项目（2010CB934100）.
作者： 段宣明[1]
关键词： 纳米加工技术, 基础研究, 应用, 光子束, 衍射, 纳米器件, 纳米结构, 研究开发
中文摘要：

新型纳米加工技术的研究开发是目前国际上关注的热点，是纳米技术、特别是纳米器件获得应用所必须解决的重要问题之一。纳米器件尺寸小型化、结构多样化、集成高度化的发展趋势要求纳米加工技术不仅具有纳米量级的加工分辨能力，而且也能够实现包括从二维到三维复杂纳米结构的加工与器件制备。

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期刊信息
  • 《物理》
  • 北大核心期刊（2011版）
  • 主管单位:中国科学院
  • 主办单位:中国物理学会 中国科学院物理研究所
  • 主编：朱星
  • 地址：北京603信箱
  • 邮编：100190
  • 邮箱：physics@aphy.iphy.ac.cn
  • 电话：010-82649470 82649266
  • 国际标准刊号：ISSN：0379-4148
  • 国内统一刊号：ISSN：11-1957/O4
  • 邮发代号:2-805
  • 获奖情况:
  • 2002年中国科协优秀期刊三等奖,2000年度中科院优秀期刊一等奖,2001年入选“中国期刊方阵”,中国期刊方阵“双效”期刊
  • 国内外数据库收录:
  • 俄罗斯文摘杂志,美国化学文摘（网络版）,英国科学文摘数据库,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊（2004版）,中国北大核心期刊（2008版）,中国北大核心期刊（2011版）,中国北大核心期刊（2014版）,中国北大核心期刊（2000版）
  • 被引量:8902