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Corrective capability analysis and machining error control in ion beam figuring of high-precision op
  • ISSN号:0091-3286
  • 期刊名称:Optical Engineering
  • 时间:2012.2.1
  • 页码:334021-334028
  • 相关项目:光刻物镜光学零件纳米精度制造基础研究
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