中文摘要：

在单晶硅和玻璃基片上用自组装的方法制备了稀土纳米膜，利用原子力显微镜（AFM）、接触角测量仪等测试手段对制备的薄膜进行了表征；并用自行研制的滑动往复式微摩擦测试系统测试了其摩擦特性。研究结果表明，在玻璃和单晶硅基片表面都成功地组装上了稀土自组装薄膜，未经表面改性的单晶硅和玻璃基片的摩擦系数分别为0．80和0．79，在其表面制备稀土纳米膜后的摩擦系数分别降低至0．16和0．1l，同时耐磨性及摩擦稳定性都得到显著提高，显示了稀土纳米膜在微机构表面改性的潜在应用前景。

英文摘要：

A self-assembly method was adopted to obtain rare earth （RE） nanofilm on the substrates of single-crystal silicon and glass. A sliding reciprocating micro friction tester was developed to carry out tribological investigation of the films. As a result, the RE nanofilms are of lower steady friction coefficient （COF） and better wearing resistance compared with the substrates, indicating their promising applications in microelectromechanical system（MEMS） field.