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Self-alignment of micro-parts using capillary interaction: Unified modeling and misalignment analysi
  • ISSN号:0026-2714
  • 期刊名称:Microelectronics Reliability
  • 时间:2013.8
  • 页码:1137-1148
  • 相关项目:超导电-磁-热-力多场耦合非线性力学的基础理论与实验研究
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