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高测速双纵模双频激光干涉仪系统的研究
  • ISSN号:1000-7008
  • 期刊名称:《工具技术》
  • 时间:0
  • 分类:TG659[金属学及工艺—金属切削加工及机床] TH744.3[机械工程—光学工程;机械工程—仪器科学与技术;机械工程—精密仪器及机械]
  • 作者机构:[1]水力学与山区河流开发保护国家重点实验室(四川大学),成都市610065, [2]四川大学激光应用研究所
  • 相关基金:国家自然科学基金资助项目(50627502)
中文摘要:

以合适频率的高稳定度电子振荡器信号分别与双纵模热稳频双频激光干涉仪输出的频率过高的测量和参考信号混频,将信号载波频率降至计数器允许频率范围内,得到全交流的高测速双纵模双频激光干涉仪系统。本文给出了高测速双纵模双频激光干涉仪系统光路框图和信号处理框图,并给出了振荡器频率选择的基本公式。所研制系统纵模间隔约728MHz,计数器选用最大允许计数频率10MHz的82c54,振荡器为频率为723MHz的JE0723型介质振荡器。在3m激光测长机上的实验证实:系统分辨率为0.32μm时,最大允许测量速度可达1300mm/s,能满足各种高速运动设备的检测及标定需求。

英文摘要:

The frequency of measuring signal and reference signal output by the dual-frequency laser interferometer based on the frequency-stabilized double longitudinal modes He-Ne laser with thermoregulation is too high. The signal with right frequency generated by oscillator of high frequency stability is used to mix them respectively to get transformed signals with low frequency which can be counted, a fully alternating current system with high measuring speed is gained. This paper has shown the schematic diagram of the optical system and signal processing system of the measuring system and the basic formula of the selection of the frequency of oscillator. The mode interval of developed system is 728MHz, the used counter is 82c54, its top counting frequency is 10MHz, the frequency of oscillator is determined as 723MHz. It has been proved by experiments carried out on 3m laser length measuring machine that its top measuring speed is better than 1300mm/s when its resolution is 0.32μm,it can effectively meet the requirements of measuring and calibrating of high speed equipments.

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期刊信息
  • 《工具技术》
  • 中国科技核心期刊
  • 主管单位:国家机械工业局
  • 主办单位:成都工具研究所
  • 主编:辛节之
  • 地址:成都市府青路二段24号
  • 邮编:610051
  • 邮箱:toolmagazine@chinatool.net
  • 电话:028-83245073
  • 国际标准刊号:ISSN:1000-7008
  • 国内统一刊号:ISSN:51-1271/TH
  • 邮发代号:62-32
  • 获奖情况:
  • 中文核心期刊,中国科技论文统计源期刊,四川省优秀期刊奖,机械部优秀期刊奖
  • 国内外数据库收录:
  • 波兰哥白尼索引,美国剑桥科学文摘,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊(2004版),中国北大核心期刊(2014版),中国北大核心期刊(2000版)
  • 被引量:9263